描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数说明 |
|---|---|
| 完整型号 | 1600-0001 |
| 硬件结构 | PCB 电路板 + 铝合金安装托架 |
| 连接器配置 | 3 组 D-Sub 高密度接口 |
| 信号类型 | 数字控制信号、传感器反馈信号转接 |
| 安装方式 | 机柜螺丝固定支架安装 |
| 工作环境 | 10℃ ~ 50℃,洁净车间环境 |
| 适用设备 | Schumacher Bubbler 起泡器、半导体气源输送控制系统 |
| 电气特性 | 低压数字信号传输,无大功率负载回路 |
| 生命周期 | 原厂配套备件,不单独对外零售,长期缺货 |
产品深度介绍
SCHUMACHER 1600-0001 是半导体晶圆制造设备专用信号转接板。大量配套在 J.C.Schumacher 液态源起泡输送系统(Bubbler)上使用。板卡负责连接系统主控单元、质量流量控制器、液位传感器、气动阀门,完成多路控制信号与反馈信号汇总转接。外置金属托架方便在洁净机柜内固定,三路 D-Sub 接口简化现场布线。该板卡不作为独立商品销售,仅随整套气源设备出货。设备使用年限较长后,接口引脚氧化、线路腐蚀会引发信号中断。
应用场景与行业案例
半导体 Fab 工厂的薄膜沉积工艺大量使用 Schumacher 起泡器输送液态前驱体。很多运维采购只关注起泡器本体,容易忽略这款转接板备件储备。华东某晶圆厂年度维护作业,拆卸机柜清洁后重新接线,1600-0001 其中一路 D-Sub 引脚受损,设备持续报传感器通讯故障。现场没有备用板卡,整机停机等待备件,导致镀膜工序产能受限。典型应用场景:
- 半导体制造 – PVD/CVD 工艺,液态源起泡器控制系统
- 光电面板行业 – 气相沉积气源输送监控系统
- 科研洁净实验室 – 高精度化学品蒸汽输送设备


