描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 完整型号 | 223BD-00001AAB |
| 测量类型 | 差压测量（D 型） |
| 满量程 | 10 Torr |
| 测量精度 | ±0.5% 满量程 |
| 供电电源 | ±11 ~ ±18 V DC（标准 ±15 VDC） |
| 信号输出 | 0–10 V DC 线性模拟信号 |
| 气路接口 | 3/16″ OD 直管接头 |
| 最大耐受压力 | 40 psig |
| 电气接口 | 螺丝隔离端子排 |
| 工作环境温度 | 0 ℃ ~ +50 ℃ |
| 存储温度 | -40 ℃ ~ +85 ℃ |
| 零点要求 | 真空环境下执行零点校准 |
| 安装配件 | 配套 L 型固定支架 |
| 测量介质 | 洁净、无腐蚀性干燥工艺气体 |
产品深度介绍
MKS 223BD-00001AAB 属于 Baratron 经典电容式真空计，依靠金属弹性膜片两侧压差改变电容实现压力检测，测量结果不受气体种类影响。 传感器将压差转换成标准 0–10 V 直流信号，直接接入真空控制器、PLC 采集模块，用于真空腔体闭环压力控制。广泛配套老旧真空镀膜、刻蚀、扩散泵机组。 该型号属于成熟老款规格，原厂持续供货周期收紧，大量存量真空设备运维需要储备替换备件。传感器内部精密膜片极易受油污、水汽、冲击损伤，拆装与工艺通气需要严格规范操作。
应用场景与行业案例
真空工艺依靠真空规获取腔体内真实压力数值，一旦真空规失效，系统无法闭环调节闸阀、泵组，工艺参数失控，极易出现批次产品报废。
典型应用场景：
- 半导体设备 – 老旧刻蚀、薄膜沉积设备 工艺腔体低真空压差监测，配合真空阀门实现压力闭环控制。
- 光学行业 – 真空镀膜机 光学镜片、保护膜真空蒸镀工序腔体压力实时监控。
- 科研实验室 – 高真空实验平台 质谱设备、材料真空热处理装置压力采集。
- 通用工业 – 扩散泵、分子泵真空机组 真空管路前后级压差监测，预判泵体性能衰减。
真实案例： 华东一家光学镀膜厂真空机 223BD 真空规信号漂移，压力读数持续波动，镀膜厚度一致性变差。 联系代理商原厂货期 6 周，产线无法长期降负荷生产。采购经过气密性与通电测试的 223BD-00001AAB 现货，停机更换后，完成真空零点校准，压力读数恢复稳定，镀膜产品良率回到正常水平。企业后续将该真空规纳入常备易损备件清单。
