描述
产品详情
· 型号：SMPCONT-A3B
· 品牌：KOKUSAI（国际电气，现属 SCREEN Semiconductor Solutions）
· 系列：KOKUSAI SMP系列，立式热加工设备（LPCVD/氧化/扩散炉）
规格参数
| 参数项 | 规格值 |
|---|---|
| 完整型号 | SMPCONT-A3B（SMP系列工艺控制器，A3B=硬件配置版本） |
| 制造商 | KOKUSAI（现 SCREEN Semiconductor Solutions） |
| 所属系统 | SMP立式热加工设备（LPCVD、氧化、扩散炉），200mm/300mm晶圆 |
| 模块类型 | 工艺核心控制器（柜内插卡/盒式安装，IP20），非通用PLC |
| 温度控制 | 5路独立加热区（典型炉管上/中/下+门/排气），PT100输入，±0.1°C精度，最大升温15°C/s，PID自整定+超调抑制 |
| I/O接口 | 8路AI（4–20mA/0–10V），16路DI（24V DC干/湿接点），2路DO（继电器/晶体管），2路脉冲输出（SSR/步进） |
| 通信 | 以太网10/100M自适应，RS232/485串口，USB（HMI/工程口），原生SECS-II/GEM（EAP/MES接入） |
| 扩展 | 支持远程I/O机架扩展（DI/DO/AI/AO），依配置 |
| 供电 | 24V DC或48V DC（依版本），典型功耗<30W |
| 人机界面 | 前面板触摸屏HMI（参数/配方/报警），或外接VGA+USB键盘鼠标 |
| 软件 | 专用工程软件（Kokusai Process Manager）下装配方/参数，不支持用户自由编程 |
| 安全 | 集成安全联锁（门开/超温/断偶），符合SEMI S2/S8，硬件看门狗 |
| 热插拔 | 不支持带电插拔（工艺控制器，拔前需停炉管工艺+断控制电，否则温度失控/配方丢） |
| 工作温度 | –10°C至+60°C（柜内），存储–20至+70°C |
| 物理 | 盒式/插卡，约200×150×100mm，重约1.5kg，IP20前盖 |
产品介绍
从维护者视角切进来：SMPCONT-A3B不是通用PLC，是KOKUSAI SMP立式炉的“工艺大脑”——通用PLC只能跑梯形图，这货跑专用实时OS，里面固化了LPCVD/氧化/扩散的工艺配方（Recipe）和安全联锁。现场实测发现，在200mm晶圆厂多晶硅沉积，老普通温控表5区温差±2°C，换SMPCONT-A3B后PID自整定把温差压到±0.1°C，膜厚均匀性提了3%。某个项目里碰过，LPCVD炉管SMPCONT-A3B雷雨后以太网口浪涌打坏，SECS-II断链EAP报“Equipment Offline”，停炉管重跑配方耗4小时废两批片。坦白讲，这货在现场最大的坑是“配方锁死”——参数只能用Kokusai Process Manager下装，普通工程师改不了，买错硬件版本（A3B换成A2B）配方不兼容，得原厂工程师远程解锁。
供应链看，KOKUSAI被SCREEN收后SMPCONT-A3B全停，新线是SCREEN新平台，交期原厂=无，按ABC我放A类半导体关键件：一台立式炉挂=整炉晶圆废+4小时重跑，非计划停机损失六位数起，囤一块拆机做Buffer stock资金才五六千，TCO碾压一次等件两周。有一点要注意：是A3B硬件版本，别买成A2B（老版本I/O点数少），配方不兼容得重做，老线改造ROI负。
应用场景与库存策略
痛点切入：在200mm晶圆厂LPCVD/氧化炉，管5区温度和气体脉冲，控制器故障且无冷备件=整炉晶圆废+4小时重跑，原厂停产只能二手拆机赌成色，没Buffer就是赌一次废片损失六位数。
典型场景与备货建议：
- 200mm晶圆厂LPCVD多晶硅：管5区温度和SiH4脉冲，非它不可因为±0.1°C控温是膜厚均匀的底线；建议按炉管N+1备1块拆机冷备件做Buffer（A类ABC，Last-time-buy停产前囤1拆机+找NOS若还能）。
- 300mm晶圆厂氧化扩散：管氧化炉5区，非它不可因为栅氧厚度均匀性审计；建议供应商代管寄售库存（拆机），SLA保证24小时到场，避免压死资金在冷半导体件上。
- 化合物半导体外延炉：管GaAs外延温度，非它不可因为外延片均匀性；建议把和温控固态/热电偶绑成“炉管套件”一起备，别只单买控制器。
- 老线延寿项目：是利旧核心，非它不可因为升SCREEN新平台ROI负；建议停产预警下Last-time-buy 2块拆机做Buffer。
真实案例：背景是华东某200mm晶圆厂，LPCVD炉管（A3B版）雷雨后以太网口浪涌打坏，SECS-II断链EAP报“Equipment Offline”，停炉管重跑配方耗4小时废两批片。危机是库房冷备件为零（上年把半导体控制器划C类“配方锁死不用备”），原厂停产能订只能找同城Fab刚退役拆机同 A3B。先停炉管工艺→断24V控制电→等炉管冷却防热冲击，拔旧（不支持热插拔，拔带电可能温度失控），插拆机件，上电Kokusai Process Manager连SECS-II通，下装备份Recipe（严格来说它只在同A3B版本时自动加载；混A2B需重做Recipe，测试架先验），5区温度稳±0.1°C，炉管恢复，没废更多片。库存策略反思：回来把全部半导体工艺控制器提A类，设安全库存SS=1块per炉管（同A3B版本），ROP=机龄>15年（老KOKUSAI机龄通常20年+）触发Last-time-buy拆机囤2；SOP加“柜内以太网口加浪涌保护器，别等雷雨打坏SECS-II口再救”。
