描述
产品详情
· 型号：CXP-544A KOMS-A2
· 品牌：KOKUSAI（SCREEN Holdings）
· 系列：KOKUSAI CXP 系列立式炉控制系统
规格参数
- 模块名称：KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2 多通道模拟量输出/过程控制模块
- 适用系统：KOKUSAI CXP 系列立式扩散炉/退火炉专用机架
- 输出通道：8–16 通道（依固件/配置），通道间电气隔离
- 输出信号：±10 VDC 或 4–20 mA（软件组态可选）
- DAC 分辨率：12-bit 或 14-bit（依硬件版本）
- 控制精度：典型 ±0.1% FS（25℃），温漂 <50 ppm/℃
- 驱动能力：电流型最小负载 500 Ω，电压型最大输出电流 10 mA
- 通信方式：KOKUSAI 专有背板总线，与 CXP-544A CPU 通信
- 状态指示：前面板 POWER 灯（无单通道状态灯）
- 供电方式：CXP 背板 +5V 及 ±15V 供电，典型功耗 5–10 W
- 工作环境：0～+50℃（洁净室环境），湿度 5%～95% 无凝露
- 物理尺寸：专用 PCB 卡，带金属屏蔽罩，DIN 或 Hirose 高密度背板接口
- 认证标准：SEMI S2/S8（系统级），CE
产品介绍
CXP-544A KOMS-A2 是 KOKUSAI 立式扩散炉里的“温控神经”，专门负责把温度指令变成控制气体流量和加热功率的模拟量信号。它不是通用的 PLC 模块，而是绑定 CXP 系列专用机架的私有卡件。
这块板子的核心价值在于隔离和精度。在几十路温控的高干扰环境下，它能保证各路信号互不串扰，输出精度达到 ±0.1%。对于 200mm/300mm 晶圆制程来说，这直接关系到氧化层的厚薄均匀性。它通过专有背板接收主控指令，直接驱动 MFC 和 SCR 调功器，是老线维护的关键卡件。
应用场景与行业案例
在晶圆厂的扩散车间，这块板子常年待在高温炉的控制柜里。最怕的不是它坏了，而是它“漂移”——导致炉温不稳或气体配比失调，整批晶圆报废。
典型场景：
- 200mm/300mm 晶圆热处理线：用于氧化、退火、CVD 工艺炉。
- 多区温控系统：单块板子控制多个温区的加热器或气体阀门。
- 高纯度气体控制：通过 4–20mA 精准调节 MFC 开度。
真实案例：
某 Fab 厂的退火炉在做高温氧化工艺时，发现第 3 温区温度总是压不住，反复波动。排查发现是 KOMS-A2 的第 3 通道 DAC 输出漂移，导致 MFC 阀门开度指令错误。由于板卡有通道隔离，只换了这一路对应的输出，但为了稳妥，我们在维护窗口直接整块更换了 KOMS-A2，重新校准后，炉温曲线立马恢复了平直。
