描述
产品详情
· 型号：EVR116 (PF I39 931 A)
· 品牌：Pfeiffer Vacuum
· 系列：EVR Series 电动真空控制阀
技术参数
- 法兰接口：DN 16 ISO-KF (KF16)
- 供电电压：24 V DC (±10%)
- 控制信号：0–10 V DC (模拟量)
- 工作压差：1×10⁻⁸ mbar 至 2.5 bar (绝对压力)
- 可控流量：5×10⁻⁶ 至 1.25×10³ hPa·l/s (空气)
- 响应速度：开启约 4 s，关闭约 3 s
- 阀体材质：1.4435 不锈钢 / 1.4301 阀针
- 密封材质：FPM (氟橡胶)
- 烘烤温度：阀体 80 °C / 执行器 60 °C
- 环境温度：5–40 °C
- 防护等级：IP 40
产品介绍
半导体镀膜或光伏产线里，压力波动往往是因为老式角阀控制太“糙”。EVR116 就像给真空管路装了个“油门踏板”，它不是简单的开关阀，而是靠步进电机根据 0-10V 信号线性调节开度。无论是做上游进气还是下游节流，它都能把压力死死按在工艺曲线上。
对设备工程师来说，这台阀门最大的优点是“皮实”。全金属结构加氟橡胶密封，耐脏污能力强，日常不用频繁保养。它和普发的 RVC300 或 IF200 控制器是天生一对，插上就能用，省去了复杂的 PID 调试时间。
替换与升级建议
✅ 直接替换
- 同型号旧版：早期批次的 EVR116 可直接替换，接口和电气定义完全一致，无需改动管路和接线。
- 同口径手动阀升级：如果是 KF16 手动角阀，需要增加 24V 电源和控制器（如 RVC300），属于自动化升级，需停机施工。
⚠️ 软件兼容（需改配置）
- 其他口径阀门：EVR116 仅限 DN16 管路。若原设计为 DN25 或 DN40，需评估系统流导，更换大口径阀门需重新计算控制器 PID 参数。
- 不同控制协议：EVR116 原生支持 0-10V 模拟量。若原系统为数字总线控制，需确认控制器是否有对应的模拟量输出模块。
❌ 硬件不兼容
- 不同法兰标准：EVR116 标配 ISO-KF 法兰。若现场是 CF 法兰或 ISO-K 法兰，必须更换转接件或定制法兰。
- 其他品牌阀门：如 VAT、MKS 等品牌，虽然功能相似，但电气接口和控制器不通用，不建议直接混用。
常见问题解答 (FAQ)
Q1：这阀门是常开还是常闭的？
A： 是电动比例阀，不是靠弹簧复位的两位阀。断电后它会保持在断电瞬间的开度位置（保持力矩），不会自动全开或全关。如果工艺要求断电必须关断，需要在逻辑里做断电保护。
Q2：我的系统极限真空度能达到多少？
A：阀门本身的极限真空度优于 10⁻⁸ mbar，漏率极低。但最终能抽到多少，主要取决于你的分子泵和干泵的能力，阀门本身不是瓶颈。
Q3：能不能直接接 220V 交流电？
A：绝对不能。 是标准的 24VDC 设备，接错 220V 会直接烧毁电机和控制板。请务必检查现场电源。
Q4：阀门动作很慢，是坏了吗？
A：正常。它的开关时间在 3-4 秒左右，这是为了防止压力突变冲击工艺。如果远慢于此或有异响，才需要检查机械传动部分。
Q5：需要定期润滑吗？
A：不需要。这是一款免维护阀门，严禁自行拆解加油，油脂挥发反而会污染真空腔室。
