描述
产品详情
· 型号：0100-71267（Fab Drawing No. 0110-71267）
· 品牌：Applied Materials（USA）
· 系列：AKT Series / Centura Platform — PMC Mezzanine I/O or Control Expansion Card（Hosted on VME Carrier 如 0100-71278）
技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 完整型号 / AMAT PN | 0100-71267，Fab Drawing No. 0110-71267（Rev A/B/C 依批次），行业常称 “8-Channel PMC Card” 或 “PMC I/O Expansion for AKT Tools” |
| 制造商 | Applied Materials, Inc.（USA），Semiconductor Products Group |
| 适用主机 / Carrier | AMAT VME Carrier 如 0100-71278（AKT CVD/PECVD Comm Board）、0100-71275（P2 Backplane CVD Board）、部分 Centura 主控架——插 Carrier PMC Slot 1 或 Slot 2 |
| 卡型 | IEEE 1386.1 单宽 PMC（74×149mm），64bit 33/66MHz PCI（依 Carrier 支持），带 front panel mini-LED 或 test point 依 Rev |
| 通道配置 | 标称 8 通道（8-Channel）——实际功能由 AMAT Tool SW 映射：可为 8 BI（Seriplex dry contact 110/220V DC）、8 BO（relay driver）、AI/AO 或工艺专用时序 I/O 取决于机台 BOM（刻蚀/CVD/Implant 同 PN 不同 EEPROM load） |
| 信号接口 | 经由 Carrier 背板引至 Seriplex I/O 端子块或 Gas Box / Chamber Interface——本 PMC 不直接出线，I/O 经 Carrier → 端子块 → 现场（压力变送器/电磁阀/限位/RF Interlock） |
| 供电 | 由 VME Carrier 背板供 +5V DC（典型 1–2A）、+3.3V（部分 Rev），无独立外供 |
| EEPROM / 固ware | 存 Card ID / Option Register——具体 I/O Function Number mapping 存在 VME CPU Application 中，该 PMC 只回报 Hardware Type + Serial No. |
| LED 指示 | 部分 Rev 带 PWR（绿亮=背板 5V OK）、Active（通信帧闪）或每通道简 LED 依 Variant |
| 热插拔 | 支持在线插拔 PMC 子卡（需 Carrier 使能 & Tool SW 允许），建议 I/O Force Off 再拔——VME Carrier 本身通常不断电热插 |
| 涂层 / 洁净 | 标准 SEMI 三防漆 Conformal Coating（G3 级），适合 Fab 洁净室环境 |
| 工作环境 | 0～+55℃（储存 -40～+85℃），5–95% RH 非凝露；符合 SEMI S2 / S8 / IEC 60950 / CE |
| 物理尺寸 / 重量 | 74×149×薄（PMC 单宽），≈0.1 kg |
| 生命周期状态 | AMAT 按 Tool 代次 EOL——0100-71267 对应 AKT 老平台部分已 Limited，原厂新产依机台 Service Contract 定；市场靠全新尾货(New Surplus)及测试拆机流通；无 Pin-to-Pin 替代——升新 AKT/Producer 平台需整机改造 |
产品介绍
在某 300mm Fab 碰过——AKT 60K PECVD 工具 #3 腔报 “PMC Slot 1 Communication Lost”，拔 0100-71267 金手指见轻微氧化致 PCI Enumeration 失败（非板坏只是接触），酒精擦后恢复。这卡本质不是独立控制器而是 AMAT VME 主控架构的”手脚扩展”——插在 0100-71278（VME Carrier）PMC 槽，把腔室压力/气体/阀门/RF Interlock 经 Seriplex I/O 网或模拟前端接入 VME CPU 应用层做判决。和通用 PMC 不同它有 AMAT 专有 EEPROM Option Register 且 I/O 功能号映射绑死机台 BOM——同 PN 装不同 Tool SW load 行为不同（刻蚀机 vs CVD 同卡不同功能）。
严格来说 0100-71267 与 Fab Dwg 0110-71267 是同一物——Rev A/B/C 通常固件兼容向下，换新一般不需重 load 只要 VME CPU Application 已含该 Card Type Definition（几乎都含）。库存经理视角：归 A 类偏 B（PMC 死=该组 I/O 点冻结→腔室可能报 Interlock Fail 或 Process Abort 需 Re-qualify 腔体，某些 Tool 设计可旁路但损失监测），AMAT 老 AKT 平台无原位替代坏只能换同型号或全盘升 Producer/新 AKT——典型按 Tool N+1 冷备 LTB 考量。
替换与升级建议
✅ 直接替换
- 0100-71267（任何 Rev A/B/C，Fab Dwg 0110-71267）彼此插槽/EEPROM ID 兼容可直接互换——推荐确认新卡 EEPROM Option Byte 与旧一致或让 VME CPU Application auto-detect（通常 OK）。
- 必须插回原宿主 VME Carrier（0100-71278 / 0100-71275 等 PMC Slot）——不可独立运行。
⚠️ 软件兼容（需确认）
- 若 VME CPU Application 极老（Pre-AKT15K early ROM）可能不识别新 Rev EEPROM —— 罕见，如遇 “Unknown PMC Type” 需 Confirm Tool SW Version 或 Contact AMAT FSE 获 Patch（通常只需确认 BOM 中 PMC Type = 0100-71267 已定义）。
- 换卡后建议从 VME Console 做
ID PMC/ 等效 Diagnostic 读 Card SN + Type 确认枚举 OK 再 Release Chamber。
❌ 硬件不兼容
- 通用 PMC 卡（如 XMC-Serial / IP-Carrier PMC）→ AMAT Tool SW 不认 EEPROM Option Register 及 I/O Mapping 会报 Unknown PMC / I/O Fail 禁跑 Recipe——严禁替。
- 新 AKT Producer 平台 I/O 模块——物理/背板/Carrier 全不同属升代改造。
